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电子级高纯水标准对比

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【摘要】:
电子级高纯水标准和半导体超纯水标准对比

电子级高纯水和半导体高纯水用水标准对比

微电子工业水质标准

 

LED(TFT)

256K DRAM

1M DRAM

4M DRAM

16M DRAM

64M DRAM

线宽度(um)

-

1.4 - 1.8

0.8 - 1.0

0.4 - 0.6

0.2 - 0.3

0.1

电阻率

(Mohm,25℃)

>18.0

>17.5

>18.0

>18.0

>18.1

>18.1

TOC(ppb)

<20

<100

<30

<10

<3

<1

微粒(No./ml)

(0.1μ) <10/ml

(0.2μ) <50/ml

(0.1μ) <10/ml

(0.05μ) <30/ml

(0.03μ) <10/ml

(0.03μ) <5/ml

细菌(CFU/ml)

<1/100

<10/100

<1/100

<5/1000

<5/1000

<5/1000

溶解氧(ppb)

<50

<100

<100

<50

<5

<3

二氧化硅(ppb)

<5

<10

<5

<3

<1

<0.5

硼(ppb)

-

-

<2

0.05

0.05

0.05

钠(ppb)

<0.1

<0.2

<0.1

<0.1

0.05

0.01

钾(ppb)

<0.1

<0.3

<0.1

<0.1

0.05

0.02

<0.05

<0.1

<0.05

<0.05

0.02

0.02

<0.05

 

<0.05

<0.05

0.02

0.02

<0.05

 

<0.05

<0.05

0.005

0.005

氯化物

<0.1

<0.2

<0.1

0.1

0.02

0.02

溴化物

 

<0.1

<0.1

0.05

0.02

0.02

硝酸盐

 

<0.1

<0.1

0.05

0.02

0.02

硫酸盐

 

0.1

<0.2

0.05

0.05

0.05

不溶残渣

 

<0.3

0.1

0.05

0.05

0.05


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