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电子级25t/h高纯水设备
电子级25t/h高纯水设备
电子级25t/h高纯水设备介绍 | |
系统处理工艺流程图 | |
原水→原水箱→增压泵→全自动盘式过滤器→保安过滤器→超滤系统→超滤水箱→增压泵→阻垢剂加药系统/还原剂加药系统→保安过滤器→高压泵1→反渗透装置1→中间水箱→PH调节装置→高压泵2→反渗透装置2→纯水箱→输送泵→过滤器→EDI电除盐系统→EDI高纯水箱→输送泵→抛光混床→TOC去除器→过滤器→用水点 | |
注:本系统采用反渗透膜处理工艺,主要有四个部分组成,预处理系统、二级反渗透主机系统、EDI电除盐系统、抛光混床系统; | |
原水采用自来水通过增压泵增压进入石英砂过滤器、活性炭过滤器和软化器过滤,去除水中的悬浮物、胶体、有机物及余氯,配套有絮凝剂加药系统和阻垢剂加药系统,可有效降低水中浑浊度,防止反渗透膜的结垢,提高反渗透膜的使用寿命; | |
二级反渗透系统采用美国陶氏反渗透膜技术,自动制膜技术有效保证每支膜的水处理性能。I级反渗透采用BW30-400型号的反渗透膜,该膜具有脱盐率较高、操作压力较小,抗污染性能,膜的脱盐率可以达到99.7百分之;二级反渗透膜采用BW30-365系列膜,该膜广泛使用二级反渗透系统中。二级反渗透出水水质电导率可以达到4微西门子以下; | |
EDI电除盐系统采用原装进口西门子模块,EDI作为绿色脱盐模式,具有以下优点:占地面积省、运行成本低、系统设计简单、水质稳定、安装维修简便、绿色环保,不需要酸碱再生、可实现连续生产。EDI出水电阻率可以达到15~17兆欧; | |
抛光混床系统采用上海树脂厂和罗门哈斯合资品牌抛光核级树脂,抛光混床作为制取超纯水的核心部件,经处理后出水可以达到18兆欧以上,满足微电子行业用水要求; | |
系统中电气控制情况 | |
本设备采用触摸屏PLC控制,系统中各工艺点的运行情况,在触摸屏中都有所设计,系统故障有报警及指示功能,可以通过触摸屏直观的了解设备运行情况、故障分析; 该设备中的水箱和水泵均设计有液位连动控制,可以实现系统无人值守; 高压泵均设计有压力保护装置; 系统中的电导率仪和电阻率仪均有报警和信号输出功能; |
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技术参数总表 | |
项目 |
CL-25T/H型高纯水设备 |
应用行业 |
微电子冲洗用水 |
设备控制方式 |
触摸屏PLC控制,各液位、压力连锁控制,实现无人值守 |
产水量 |
25T/H |
进水水质指标 |
市政自来水,电导率≤1000μS/cm |
产水水质 |
电导率≤0.055μS/cm(电阻率≥18MΩ.CM) |
反渗透设备系统脱盐率 |
99.7百分之 |
自来水损耗 |
33t/h |
进水温度 |
2~35℃ |
工作方式 |
可24小时运行 |
设备运行质量 |
预处理部分约30吨
二级反渗透主机系统约5吨
EDI电除盐和抛光混床:约4吨 |
设备额定功率 |
约85KW |
电源 |
380V AC 50HZ 三相五线 |
反渗透系统回收率 |
50~75百分之 |
主机设备规格尺寸 |
长6000*宽2500*高2000 |
厂房建议尺寸(含操作维护空间) |
长19000*宽8000*高7000 |
进水口径 |
DN100 PN1.0法兰接口 |
出水口径 |
DN65 PN1.0法兰接口 |
排污口径 |
DN125PN1.0法兰接口 |