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产品展示
低能耗半导体功率器件废水处理
低能耗半导体功率器件废水处理
3.1、含氟清洗废水及处理单元预估出水情况 | |||||||
处理工艺 |
项目 |
水量(t/a) |
pH |
COD(mg/l) |
SS(mg/l) |
F-(mg/l) |
氯化物(mg/l) |
一级反应沉淀池 |
进水 |
11520 |
3-4 |
50 |
25 |
300 |
30 |
出水 |
11520 |
4-5 |
40 |
17.5 |
60 |
30 |
|
去除效率% |
- |
/ |
20 |
30 |
80 |
/ |
|
二级反应沉淀池 |
进水 |
11520 |
4-5 |
40 |
17.5 |
60 |
30 |
出水 |
11520 |
5-6 |
32 |
7 |
12 |
30 |
|
去除效率% |
- |
/ |
20 |
60 |
80 |
/ |
|
pH调节池 |
进水 |
11520 |
5-6 |
32 |
7 |
12 |
30 |
出水 |
11520 |
6-9 |
32 |
7 |
12 |
30 |
3.2、研磨清洗废水及处理单元预估出水情况 | |||||
处理工艺 |
项目 |
水量(t/a) |
pH |
COD(mg/l) |
SS(mg/l) |
反应沉淀 |
进水 |
3840 |
6-9 |
100 |
800 |
出水 |
3840 |
7-10 |
100 |
200 |
|
去除效率% |
- |
/ |
0 |
75 |
|
pH调节池 |
进水 |
3840 |
7-10 |
100 |
200 |
出水 |
3840 |
6-9 |
100 |
200 |
3.3、含有机物清洗废水 |
有机清洗废水排放量较少,仅为144m3/a,经现场收集后委托有资质单位处理处置。 |
|
|||||||||||||||||||||
处理工艺 |
项目 |
水量(t/d) |
pH |
COD |
SS |
氨氮 |
总氮 |
总磷 |
硫酸盐 |
氯化物 |
|||||||||||
一级反应沉淀 |
进水 |
77220 |
4-7 |
60 |
200 |
15 |
40 |
10 |
800 |
70 |
|||||||||||
出水 |
77220 |
5-8 |
48 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
||||||||||||
去除效率% |
/ |
/ |
20 |
85 |
/ |
10 |
50 |
50 |
/ |
||||||||||||
二级中和 |
进水 |
77220 |
5-8 |
48 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
|||||||||||
出水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
||||||||||||
去除效率% |
/ |
/ |
10 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
||||||||||||
pH调节池 |
进水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
|||||||||||
出水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
经详细了解,该废水主要污染物为PH、SS值,废水性质简单,水质较稳定,未见明显复杂成分。经过化学调整PH和混凝沉淀后,可以保证完全达标。 |
四、处理出水指标 |
该生产清洗废水经处理后排放,参考标准为《污水综合排放标准》GB8978-1996标准,具体监测因子及水质指标见下表。 |
污水排放标准 单位:mg/L (pH值除外) | ||
污染物名称 |
水质标准限值 |
标准来源 |
pH |
6~9 |
《污水综合排放标准》 GB8978-1996级标准 |
BOD5 |
300 |
|
COD |
500 |
|
SS |
400 |
|
NH3-H |
25 |
|
动植物油 |
10 |
|
石油类 |
20 |
|
磷酸盐(以p计) |
5 |
|
总氮 |
/ |
|
氨氮 |
25 |
|
氟化物 |
20 |