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半导体芯片用12t/h超纯水设备

产品名称

半导体芯片用12t/h超纯水设备

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描述

12t/h半导体用超纯水设备主要应用于半导体制程中各种冲洗用水,对水的纯度要求比较高,涉及到电阻率、溶解氧、TOC、二氧化硅、微生物等各种指标,要求比较严苛。

、原水水质及水量要求

1、要求系统进水量16~20m³/h,才能确保产水量≥12m³/h。

2、原水含盐量较稳定,原水电导率设计按照≤800微西门子设计,变化系数K≤1.2,其它指标参考生活饮用水标准。

、系统技术参数表

序号

项目

 CL-12t/h型高纯水设备

1

设备额定功率

约52KW

2

电源

380V  AC  50HZ  三相五线

3

系统总回收率

65~75百分之

4

反渗透系统回收率

75百分之

反渗透出水水质

≤15μS/CM

5

二级反渗透系统回收率

80~85百分之

二级反渗透出水水质

≤4μS/CM

6

EDI电除盐主机回收率

90百分之

EDI出水水质

≥16MΩ.cm

7

抛光混床回收率

100百分之

抛光混床出水

≥18.2MΩ.cm

8

进水口径

DN80 PN1.0法兰接口

9

出水口径

DN65 PN1.0法兰接口

10

排污口径

DN100 PN1.0法兰接口

三、主要工艺介绍

3.1、反渗透系统

反渗透装置在工艺中主要去除水中99百分之以上的阴、阳离子及有机物、热源和细菌等。反渗透(RO)脱盐系统由RO膜组件、高压泵、RO清洗装置等组成。

反渗透是一种借助选择透过(半透过)性膜的功能,以压力为推动力的膜分离技术膜元件,由反渗透膜导流布和管等制作而成,将多根RO元件装入不锈钢耐压壳体内,组成RO组件。本工艺脱盐系统的关键,成熟的工艺设计和合理的操作,控制及管理,直接决定着系统的正常、稳定出水。并关系到反渗透膜的使用寿命,经反渗透处理后的出水,去除了绝大部分无机盐和几乎所有的有机物,微生物(细菌、热源等)从而确保了本系统产品水的高质量、高品质。

完成预处理后的出水其出水由淤积密度指数SDI测试仪监测,当SDI值<4时,即可进入RO系统,由高压泵增压后进入反渗透系统(RO),反渗透出水(脱盐纯水)去中间水箱,另一部分由管道汇集后成浓水(主要含盐份、机械杂质、胶体、有机物等)随小部分未透过水排入下水道。反渗透主体设备选用美国海德能公司生产的高脱盐率低压CPA3LD-8040芳香族聚酰胺膜元件。该膜元件属节能型低压膜,是世界上先进的卷式RO膜元件,具有结构紧凑,产水量特别大(单支RO膜产水量可达1.3t/h),脱盐率高(单支膜试验数据>99.7百分之),操作压力低,耐细菌侵蚀性好,适用PH范围广(PH为3~10)的优点。

3.2、EDI电除盐系统

EDI(Electrodeionization)是应用电再生离子交换树脂除盐工艺来取代传统的混合离子交换除盐工艺的一种革命性水处理技术。EDI工艺采用一种离子选择性膜和离子交换树脂夹在直流电压下的两个电端之间,在两的直流电源电场从RO预处理过的水中去除离子。流入EDI模块的RO水被分成了三股独立的水流:产水水流、浓水水流和水流。EDI工艺从水中去除不想要的离子,依靠在淡水室的树脂吸附离子,然后将它们迁移到浓水室中。离子交换反应在模块的淡水室中进行,在那里阴离子交换树脂释放出氢氧根离子(OH-)而从溶解盐中交换阴离子(如氯化物、Cl-)。同样,阳离子交换树脂释放出氢离子(H+)而从溶解盐中交换阳离子(Na+)。高质量的模块可以连续产生高达18MΩ.CM的高纯水。通过这种技术,可以用较低的能源成本就能去除溶解盐,并且不需要化学。

EDI的特点
⑴ 连续运行,产品水水质稳定
⑵ 容易实现全自动控制,操作简单、可靠
⑶ 无须用酸碱
⑷ 无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施
⑸ 使用可靠,避免工人接触酸碱
⑹ 不会因而停机
⑺ 节省了用水及污水处理设施
⑻ 产水率高(可达95百分之)、
⑼ 占地面积小
⑽ 降低运行及维护成本
⑾ 设备单元模块化,可灵活的组合各种流量的净水设施
⑿ 安装简单、费用低廉

 

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