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意发功率半导体6寸线投产

产品名称

意发功率半导体6寸线投产

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描述

          祝贺德兴市意发功率半导体有限公司6寸线投产

     该项目位于德兴市高新技术产业园,占地面积12639平方米,建筑面积18839平方米,总投资50000万元,其中环保投资288万元,占总投资的5.78%。项目主要生产6英寸的沟槽和平面型IGBT、智能功率MOSFET及碳化硅器件产品。主要工艺流程:硅片(固态)-硅片清洗-扩散/氧化-光刻-刻蚀-去胶-离子注入--化学气相沉积-溅射铝-减薄-QC质量检验-入库。

      该项目已经于2020年5月底正式投产,感谢德兴意发功率半导体有限公司全体领导对创联净化的信赖与支持。

      由苏州市创联净化设备有限公司负责设计制造安装调试的15t/h超纯水设备交付使用,处理工艺采用二级反渗透+EDI+抛光混床工艺。

 

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