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半导体器件清洗废水处理方案
半导体器件清洗废水处理方案
半导体器件废水处理方案
3.1、含氟清洗废水及处理单元预估出水情况 |
|||||||
处理工艺 |
项目 |
水量(t/a) |
pH |
COD(mg/l) |
SS(mg/l) |
F-(mg/l) |
氯化物(mg/l) |
一级反应沉淀池 |
进水 |
11520 |
3-4 |
50 |
25 |
300 |
30 |
出水 |
11520 |
4-5 |
40 |
17.5 |
60 |
30 |
|
去除效率% |
- |
/ |
20 |
30 |
80 |
/ |
|
二级反应沉淀池 |
进水 |
11520 |
4-5 |
40 |
17.5 |
60 |
30 |
出水 |
11520 |
5-6 |
32 |
7 |
12 |
30 |
|
去除效率% |
- |
/ |
20 |
60 |
80 |
/ |
|
pH调节池 |
进水 |
11520 |
5-6 |
32 |
7 |
12 |
30 |
出水 |
11520 |
6-9 |
32 |
7 |
12 |
30 |
3.2、研磨清洗废水及处理单元预估出水情况 |
|||||
处理工艺 |
项目 |
水量(t/a) |
pH |
COD(mg/l) |
SS(mg/l) |
反应沉淀 |
进水 |
3840 |
6-9 |
100 |
800 |
出水 |
3840 |
7-10 |
100 |
200 |
|
去除效率% |
- |
/ |
0 |
75 |
|
pH调节池 |
进水 |
3840 |
7-10 |
100 |
200 |
出水 |
3840 |
6-9 |
100 |
200 |
3.3、含有机物清洗废水 |
有机清洗废水排放量较少,仅为144m3/a,经现场收集后委托有资质单位处理处置。 |
3.4、酸碱废水及处理单元预估出水情况 |
||||||||||||
处理工艺 |
项目 |
水量(t/d) |
pH |
COD |
SS |
氨氮 |
总氮 |
总磷 |
硫酸盐 |
氯化物 |
||
一级反应沉淀 |
进水 |
77220 |
4-7 |
60 |
200 |
15 |
40 |
10 |
800 |
70 |
||
出水 |
77220 |
5-8 |
48 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
|||
去除效率% |
/ |
/ |
20 |
85 |
/ |
10 |
50 |
50 |
/ |
|||
二级中和 |
进水 |
77220 |
5-8 |
48 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
||
出水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
|||
去除效率% |
/ |
/ |
10 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
|||
pH调节池 |
进水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
||
出水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
经详细了解,该废水主要污染物为PH、SS值,废水性质简单,水质较稳定,未见明显复杂成分。经过化学调整PH和混凝沉淀后,可以保证完全达标。 |
四.污水处理工程建设规模及处理程度 |
4.1处理规模(按照环评意见,每年工作日330天,24小时生产) |
序号 |
废水名称 |
废水产生量 |
1 |
含氟清洗废水 |
10T/h |
2 |
研磨清洗废水 |
5t/h |
4 |
酸碱废水 |
40t/h |
5 |
合计 |
55t/h |
考虑到相关的不确定因素,本方案中设计略放余量,按照300t/d废水处理能力设计。 |
4.2处理出水指标 |
该生产清洗废水经处理后排放,参考标准为《污水综合排放标准》GB8978-1996级标准,具体监测因子及水质指标见下表。 |
污水排放标准 单位:mg/L (pH值除外) |
||
污染物名称 |
水质标准限值 |
标准来源 |
pH |
6~9 |
《污水综合排放标准》
GB8978-1996三级标准 |
BOD5 |
300 |
|
COD |
500 |
|
SS |
400 |
|
NH3-H |
25 |
|
动植物油 |
10 |
|
石油类 |
20 |
|
磷酸盐(以p计) |
5 |
|
总氮 |
/ |
|
氨氮 |
25 |
|
氟化物 |
20 |
五、清洗废水处理工艺 |
5.1前处理清洗废水处理工艺方案的选择与确定(具体工艺参见工艺流程图) |
5.1.1含氟废水工艺说明 |
含氟清洗废水进入含氟清洗废水收集池后,经过PH调整、并添加氯化钙(CaCl2)产生无害的氟化钙(CaF2)沉淀,经投加混凝剂(PAC)、絮凝剂(PAM)进行混凝沉降,总除氟效率达到96%以上。含氟废水采用氯化钙作沉淀剂处理工艺,为成熟可靠工艺。 |
5.1.2研磨废水处理工艺说明 |
研磨清洗废水进入研磨废水收集池均质后,通过提升泵提升,调整pH值后加入PAC,PAM充分反应后,进入斜管沉淀池,总除SS效率达到90%,处理后废水经pH调节槽进入排放系统,产生的污泥进入污泥槽,经污泥脱水形成泥饼,外运。 |
5.1.3酸碱废水处理工艺说明 |
一般酸碱废水采用酸碱中和法处理,酸碱废水经管道收集后流入废水处理站的酸碱废水收集池;依次进入PH调整池,PH调整池中设计PH在线检测仪,根据PH情况,添加碱液后,再投加一定量的PAC和PAM絮凝剂后,进入沉淀池,防止SS值超标。 经沉淀后的废水进入pH调节槽,经检测合格后(pH值达到6~9范围内)排入公司生产废水排水管道。 详情请咨询苏州市创联净化设备有限公司,专业提供工业纯水设备、废水处理设备、中水回用设备。产品涉及半导体微电子行业、汽车零部件表面处理、制药医疗器械、食品、精洗化工行业。 |