热门关键词
热门关键词：工业纯水设备 | 制药纯化水设备 | 去离子水设备 | 废水处理设备 | 纯化水设备 | 去离子水设备 | 高纯水设备 | 纯水设备 | 中水回用设备
二维码
 |
 |
| 手机端 | 微信公众号 |
底部地址
底部导航
友情链接
地址版权
半导体器件清洗废水处理方案
半导体器件清洗废水处理方案
半导体器件废水处理方案
|
3.1、含氟清洗废水及处理单元预估出水情况 |
|||||||
|
处理工艺 |
项目 |
水量(t/a) |
pH |
COD（mg/l） |
SS（mg/l） |
F-（mg/l） |
氯化物（mg/l） |
|
一级反应沉淀池 |
进水 |
11520 |
3-4 |
50 |
25 |
300 |
30 |
|
出水 |
11520 |
4-5 |
40 |
17.5 |
60 |
30 |
|
|
去除效率% |
- |
/ |
20 |
30 |
80 |
/ |
|
|
二级反应沉淀池 |
进水 |
11520 |
4-5 |
40 |
17.5 |
60 |
30 |
|
出水 |
11520 |
5-6 |
32 |
7 |
12 |
30 |
|
|
去除效率% |
- |
/ |
20 |
60 |
80 |
/ |
|
|
pH调节池 |
进水 |
11520 |
5-6 |
32 |
7 |
12 |
30 |
|
出水 |
11520 |
6-9 |
32 |
7 |
12 |
30 |
|
|
3.2、研磨清洗废水及处理单元预估出水情况 |
|||||
|
处理工艺 |
项目 |
水量(t/a) |
pH |
COD（mg/l） |
SS（mg/l） |
|
反应沉淀 |
进水 |
3840 |
6-9 |
100 |
800 |
|
出水 |
3840 |
7-10 |
100 |
200 |
|
|
去除效率% |
- |
/ |
0 |
75 |
|
|
pH调节池 |
进水 |
3840 |
7-10 |
100 |
200 |
|
出水 |
3840 |
6-9 |
100 |
200 |
|
| 3.3、含有机物清洗废水 |
| 有机清洗废水排放量较少，仅为144m3/a，经现场收集后委托有资质单位处理处置。 |
3.4、酸碱废水及处理单元预估出水情况 |
||||||||||||
|
处理工艺 |
项目 |
水量(t/d) |
pH |
COD |
SS |
氨氮 |
总氮 |
总磷 |
硫酸盐 |
氯化物 |
||
|
一级反应沉淀 |
进水 |
77220 |
4-7 |
60 |
200 |
15 |
40 |
10 |
800 |
70 |
||
|
出水 |
77220 |
5-8 |
48 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
|||
|
去除效率% |
/ |
/ |
20 |
85 |
/ |
10 |
50 |
50 |
/ |
|||
|
二级中和 |
进水 |
77220 |
5-8 |
48 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
||
|
出水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
|||
|
去除效率% |
/ |
/ |
10 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
|||
|
pH调节池 |
进水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
||
|
出水 |
77220 |
6-9 |
43 |
30 |
15 |
36 |
5 |
400 |
70 |
|||
| 经详细了解，该废水主要污染物为PH、SS值，废水性质简单，水质较稳定，未见明显复杂成分。经过化学调整PH和混凝沉淀后，可以保证完全达标。 |
 |
四.污水处理工程建设规模及处理程度 |
4.1处理规模(按照环评意见，每年工作日330天，24小时生产) |
|
序号 |
废水名称 |
废水产生量 |
|
1 |
含氟清洗废水 |
10T/h |
|
2 |
研磨清洗废水 |
5t/h |
|
4 |
酸碱废水 |
40t/h |
|
5 |
合计 |
55t/h |
| 考虑到相关的不确定因素，本方案中设计略放余量,按照300t/d废水处理能力设计。 |
4.2处理出水指标 |
| 该生产清洗废水经处理后排放，参考标准为《污水综合排放标准》GB8978-1996级标准，具体监测因子及水质指标见下表。 |
|
污水排放标准 单位：mg/L （pH值除外） |
||
|
污染物名称 |
水质标准限值 |
标准来源 |
|
pH |
6～9 |
《污水综合排放标准》
GB8978-1996三级标准 |
|
BOD5 |
300 |
|
|
COD |
500 |
|
|
SS |
400 |
|
|
NH3-H |
25 |
|
|
动植物油 |
10 |
|
|
石油类 |
20 |
|
|
磷酸盐（以p计） |
5 |
|
|
总氮 |
/ |
|
|
氨氮 |
25 |
|
|
氟化物 |
20 |
|
五、清洗废水处理工艺 |
5.1前处理清洗废水处理工艺方案的选择与确定（具体工艺参见工艺流程图） |
| 5.1.1含氟废水工艺说明 |
| 含氟清洗废水进入含氟清洗废水收集池后，经过PH调整、并添加氯化钙(CaCl2)产生无害的氟化钙(CaF2)沉淀，经投加混凝剂(PAC)、絮凝剂(PAM)进行混凝沉降，总除氟效率达到96%以上。含氟废水采用氯化钙作沉淀剂处理工艺，为成熟可靠工艺。 |
| 5.1.2研磨废水处理工艺说明 |
| 研磨清洗废水进入研磨废水收集池均质后，通过提升泵提升，调整pH值后加入PAC，PAM充分反应后，进入斜管沉淀池，总除SS效率达到90%，处理后废水经pH调节槽进入排放系统，产生的污泥进入污泥槽，经污泥脱水形成泥饼，外运。 |
| 5.1.3酸碱废水处理工艺说明 |
|
一般酸碱废水采用酸碱中和法处理，酸碱废水经管道收集后流入废水处理站的酸碱废水收集池；依次进入PH调整池，PH调整池中设计PH在线检测仪，根据PH情况，添加碱液后，再投加一定量的PAC和PAM絮凝剂后，进入沉淀池，防止SS值超标。 经沉淀后的废水进入pH调节槽，经检测合格后（pH值达到6~9范围内）排入公司生产废水排水管道。 详情请咨询苏州市创联净化设备有限公司，专业提供工业纯水设备、废水处理设备、中水回用设备。产品涉及半导体微电子行业、汽车零部件表面处理、制药医疗器械、食品、精洗化工行业。 |
