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半导体纯水设备特点是什么?
一、什么是半导体纯水设备?
传统的超纯水设备是电渗析、离子交换器(阳床、阴床、复床、混床)。新型半导体超纯水设备是EDI(连续电除盐技术)设备,可以有效的去除水中几乎全部的阴阳离子,出水电阻率可稳定在15MΩ.CM以上,连续运行、无化学污染、水的利用率高,在纯水设备工艺上有着强大的优势广阔的应用前景。
EDI+反渗透设备适合于工业高纯水,医用超纯水,电子反渗透纯水系统,电子工业用超纯水系统,电镀工业用超纯水系统,实验室用超纯水,食品饮料用超纯水,生物工程超纯水,制造业用超纯水。
在晶体管和集成电路的半导体行业生产中,超纯水主要用于清洗硅片,少量用于制备药液、硅氧化的水蒸气源、一些设备的冷却水、制备电镀液等。集成电路生产中80%的工序都需要用高纯水来清洗硅片,水质的好坏与集成电路产品的质量和生产量有很大关系。在电子元器件的生产中,超纯水主要用于清洗水和用于配制各种溶液、浆液,不同的电子元器件在生产中对纯水和水质的要求是不同的。
半导体纯水设备主要由预处理、反渗透、EDI模块和后处理装置组成,可以有效去除原水中的悬浮物、胶体、细菌、金属离子等杂质,出水电阻率可以达到18兆欧以上,完全满足半导体行业用水需求。
二、半导体纯水设备工艺
1、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象
2、预处理-一级反渗透-加药装置(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
3、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
4、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制抛光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(新工艺)
三、半导体纯水设备优势
1、整体化程度高、易于扩展、增加膜数量即可增加处理量。
2、自动化程度高,遇故障立即自停,具有自动保护功能。
3、膜组件为复合膜卷制而成,表现出高的溶质分离率和透过速率。
4、能耗低、水利用率高、运行成本低。
5、结构合理,占地面积少。
6、膜保护系统,在设备关机,淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净,延长膜寿命。
7、系统无易损部件,无须大量维修,运行长期有效。
8、设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。
半导体纯水设备性能优势明显,能够连续稳定的制备品质优良的超纯水,不会因为树脂再生而停止运行,超纯水装置结构设计相对靠紧,占地面积小,可以为企业节省很多空间。创联净化是专业的半导体纯水设备生产厂家,有需要咨询半导体纯水设备价格可联系厉经理 13814806794
原文标题:半导体纯水设备特点是什么?
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